UV光解废气处理法的主要原理就是通过高能量的UV紫外线把废气分子分 解，快速无害物质，这样就达到了净化的目的。而且可以根据不同的排放量设计不同的处理，这样就会避免资源浪费，结合企业的废气排放现状采取合适的处理设备。
而且UV光解废气处理不受外界的影响，如气温、空气湿度、风向等等，只需要控制设备的开关就可以了，几乎不需要人看守，设备运行稳定可靠，而且适用于大部分的废气处理，是我国废气处理的主要办法。
光氧净化器是在原电晕放电基础上由高频高压电场通过放电产生的新一代低温等离子体技术具有能量高、电子发射密度高等特点。 等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧 化性的后型自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，同时产生的大量OH、HO、O等活性自由基和氧 化性极强的O，能与有害气体分子发生化学反应，生成无害产物。
光氧催化技术是在光化学氧 化技术的基础上发展起来的。光化学氧 化技术是在可见光或紫外光作用下使有机污染物氧 化降解的反应过程。但由于反应条件所限，光化学氧 化降解往往不够彻底，易产生多种芳香族有机中间体，成为光化学氧 化需要克服的问题，而通过和光催化氧 化剂的结合，可以大大提高光化学氧的效率。
光氧废气净化器利用特殊波段的紫外线光束进行废气的净化和处理工作，大家知道紫外线光束是太阳光线当中的一种特殊射线，可以在除臭净化和杀 菌方面有比较好的效果，其实这种射线对于工业有机废气的处理效果也是比较理想的。
光氧废气净化器的工作原理：
在放电过程中，电子从电场中获得能量，通过非弹性碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，当污染物分子获得的能量大于其分子键能的结合能时，污染物分子的分子键断裂，直接分 解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。
等离子净化器又称低温等离子废气净化器，在电催化总的设计概念下，分三个激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使有毒有害物质转变成无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。作为环境污染处理领域中的一项具有极强潜在优点的高新技术，等离子体受到了国内外相关学科界的高度关注。
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