低温等离子体技术是近年发展起来的废气处理新技术，低温等离子净化器处理废气的原理为：
当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。低温等离子体降解污染物是利用这些电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分 解，以达到降解污染物的目的。
低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使有毒有害物质转变为无害或低毒低害物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在1eV～10eV，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。 UV光氧催化设备适用于处理低浓度废气的排放。造成火灾事故的主要原因是废气在管道中积聚，造成废气浓度过高。电路电气失灵会产生火花引发大火和爆炸。因此，在开启该设备之前，应提早开启风机，管道内的废气有所降低再开启设备，以防火灾的发生。
等离子体引发事故的主要是由电场故障造成的电火花和高压产生的电弧引发的。等离子体适用处理低浓度废气。此外，等离子体装置的一极电阻部件应每月抽出一次进行清洗，等离子体装置的所有电极，看情况几个月抽出一次进行清洗。
对于VOC处理，废气净化设备自动化程度低，目前一般废气净化技术采用的是UV光氧催化设备，该设备处理废气简单、性价比高、净化效率高。因此该设备是中小企业废气处理的主选设备。
光解催化净化设备主要由光解技术和催化技术组合而成。催化技术是在设备中添加纳米级活性材料，在紫外光线的作用下，产生强烈的催化降解功能。由于作为催化剂的TIO2价格低廉，来源广泛，对紫外光吸收率较高，抗光腐蚀性北学稳定性和催化活性高，且没有毒性，对很多有机物有较强的吸附作用。
影响光氧气味处理设备效果的因素
1、废气浓度
光氧催化治理VOC主要适用于喷涂车间、印刷、电子、食品等行业产生的低浓度有机废气，随着VOC浓度增加，光氧催化的效率也逐渐降低。因此单纯的增加灯管的数量是无法解决高浓度有机气体问题，紫外光解技术不适合中高浓度VOC气体。
2、相对湿度
对于湿度条件下，氧气吸收了大部分紫外光，但是随着湿度的进一步增加，一部分是水蒸气与氧气竞争吸收紫外光，水蒸气吸收了紫外光，同时产生羟基自由基。水蒸气与活性氧反应生成羟基自由基，羟基自由基的氧 化性要强于臭氧和活性氧，从而光解的速度明显加快，废气处理效率提高。
3、风速和相对湿度差
风速越大，羟基自由基产生量的相对值也会越少。因此在风速小的情况下，羟基自由基对挥发性有机物VOC的贡献大，风速大的情况下，羟基自由基对有机物降解的作用就会变得很小，风速还影响了废气停留的时间，一般停留时间增加，废气的效率有明显增加。因为随着停留时间的增加，紫外光和有机物碰撞次数增加。但是当超过10秒以后，废气的处理效率没有明显的变化，因此并不是停留的时间越长废气的处理效率越好。
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